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洁净烤箱

洁净烤箱

适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;无尘工业烤箱还可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
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产品详情

产品内容介绍



产品特点

PRODUCT FEATURES


       为满足半导体封装测试行业对无尘烘烤的需求,深圳51漫画视频app官网在线下载安装兴根据行业的使用习惯、材料特性、工艺流程等特点研发出半导体洁净烤箱。洁净烤箱主要通过空气过滤器来净化环境,避免空气中的细小颗粒物进去箱内。箱内空气封闭自循环,经100级耐高温高效空气过滤器反复过滤,使工作室内处于无尘状态。洁净烤箱主要适用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。


1、结构组成:由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道循环系统组装而成,结构合理。 

2、密封性设计:全周氩焊,采用耐高温硅橡胶无尘密封条隔热,确保密封性和洁净度 

3、外部防尘处理:外材质为SPCC钢板经过粉体喷塑,耐磨不掉尘渣; 

4、高效过滤器:HEPA过滤网构造洁净室,99.99%有效过滤,洁净度达到等级100级;

5、节能:保温材质为高密度纤维,保温节能;

6、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;

7、温控仪表:自动控制温度,恒温及时间控制,设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。

8、电器配件:全部采用一线品牌,PID演算的温控系统和超温保护装置,智能恒温,温差小,适用不同产品的长、短烘烤。

 

产品参数

PRODUCT PARAMETERS


型号

YH-J100-ES-02

温度范围

常温—300℃

温度精度

±1℃

温度均匀性

±2%(空载)

加热功率

6KW

容积

350L

工作尺寸

(高*宽*深)

910*620*620(mm)

外部尺寸

(高*宽*深)

1750*855*1030(mm)

过滤器

HEPA耐高温高效过滤器(CLASS 100)

含氧量范围

1%-100PPM(选配)

升温速率

升温速率可调,空载常温升至175℃大约30分钟


选配组件

OPTIONAL COMPONENT

半导体烤箱1


               1、程序控温:可配置程序型温度控制器,实现多组程序控温。

                2、测温功能:多点测温查看及记录功能。

                3、风门调节:可加装风量调节装置,亦可实现风门开关程序控制。

                4、温度记录仪:可配置多通道温度记录仪,打印机或RS485接口,监控记录温度变化状况。



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